混合流潔凈室

Clean Room

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混合流潔凈室


    混合流潔凈室中的空氣為將非單向流式及單向流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣;這種氣流的特點是將垂直單向流面積壓縮到最小,用大面積非單向流代替大面積單向流以減少初期投資和運行費用。適用于對局部區域潔凈度要求較高的潔凈室。混合流潔凈室的一般形式為室整個潔凈室為非單向流潔凈室,但需要空氣潔凈度嚴格的區域上方采用單向流流型的潔凈措施,使該區域得到滿足要求的單向流流型潔凈區,以防止周圍相對較差的空氣環境影響局部的高潔凈度。


潔凈室技術參數


類  別 非單向流潔凈室 單向流潔凈室 混合流潔凈室
水平單向流 垂直單向流 潔凈隧道 潔凈管道 局部無塵
潔凈度(級) 1000~100000 100~1000 100 100 100 100~1000
換氣次數 15~80 100~300 300~500 500~1000 100~300 100~300
風速(m/s) 1~3 0.45~0.6 0.25~0.4 0.3~0.5 0.25~0.5 0.25~0.45
正壓(mmwg) 0.5~1.5 1.0~2.0 1.5~2.5 1.0~2.0 1.0~2.5 1.0~3.0








潔凈室送、回風示意圖



潔凈室送回風示意圖

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